微电子实验室建设

发布者：hqgl发布时间：2018-09-20浏览次数：260


武 汉 工 商 学 院


招（议）标文件




招标项目名称:微电子实验室建设招标

编 号:G2018-21


九州ju111官方网站招投标办公室

二○一八年七月二十三日

第一部分 招标邀请

根据我院实际需求，现面向社会具有实力的单位进行我院微电子实验室建设项目的招标，欢迎能按标书要求提供产品并能保证售后服务的厂家前来投标。

一、招标项目名称：微电子实验室建设招标。

经招标方认可资格合格的投标单位携带有关有效证件到九州ju111官方网站招投标办公室办理招标文件购买事宜，每份招标文件需交200.00元资料费（该费用收取后概不退还）。

每个投标单位须在递交投标书之前交纳投标保证金10000.00 元，收款单位：九州ju111官方网站

开户行：建行民族大道支行

账 号：42001237044050001270

开标后未中标单位的保证金在十五个工作日内不计息全额退还,中标单位的保证金则转为合同履约保证金。

二、投标截止时间

根据九州ju111官方网站招投标办公室要求，按时将投标文件交到九州ju111官方网站招投标办公室。如有延误，视为废标；中标单位应在我院规定的时间内与我院签订合同，逾期视中标单位放弃中标，我院有权扣留保证金。

三、付款方式：

供货完毕经院方验收合格后付总货款的90%，从验收合格之日起质保期满后支付总货款的10%。

四、开标日期：另行通知

招标单位：九州ju111官方网站

执行单位：九州ju111官方网站招投标办公室

地 址：武汉市洪山区黄家湖西路3号

联 系 人：商务部分 李老师 88147037


第二部分 投标须知

一、招标方式：邀请招标、议评开标。

二、投标者要求及相关说明：

1、投标者具有独立法人资格，具有相应的经营资质和一定经营规模，具有良好的经营业绩。

2、所供产品必须具有明确的生产厂家、产地证书、合格证、产品质检报告等。

3、投标价均按人民币报价，且为含税价。

三、投标费用：无论投标结果如何,投标者自行承担投标发生的所有费用。

四、投标书内容

1、投标书正本一份，副本伍份。如副本内容与正本内容不符，则以正本为准（投标完后，标书概不退还）；

2、产品详细报价，投标保证金缴纳凭证；

3、故障响应时间及服务承诺细则；

4、投标公司简介、企业法人营业执照、法人代表人身份证复印件和委托代理人身份证复印件、法人授权委托书、税务登记证、主要业绩等。

5、投标公司须列举近三年来在湖北地区的经营业绩，包含联系人及联系方式，供货日期，合同金额等，至少列举3例以上，用表格形式。（务必真实）

6、请投标方严格按照我方拟定的标书文件的顺序报价，并注明商品规格，产地等。

五、开标与评标：

1、开标时间和地点：另行通知

2、属于下列情况之一者视为废标：

2.1投标文件送达招标单位的时间超过规定的投标截止时间。

2.2投标文件未经法定代表人或委托代理人签字。

2.3开标后发现招标文件内容有虚假材料或信息。

3、在开标之前，不允许投标方人员与评标成员接触，如果投标方试图在投标书审查、澄清、比较及签合同时向投标方人员施加不良影响，其投标将被视为无效投标或取消投标资格。

4、本次招投标采取评标员集中议标方式，对未中标的单位我方不负责解释。

5、投标单位不得相互串通损害招标单位的利益，一旦发现各投标单位之间串通作弊、哄抬标价，招标单位将取消所有参与串通的投标单位的投标资格并没收投标保证金。

六、中标与签订合同

1、自开标之日起一周内，招标单位向符合条件的单位进行考察，最后商议定标。

2、中标单位如果未按招标单位规定的日期签订合同，或故意拖延签订合同，则招标单位可以扣除其投标保证金并取消其中标资格，另选中标单位。

3、中标单位的投标保证金转为合同履约金，

4、本招标文件未尽事宜，以合同为准。

七、投标单位如有疑问，可以向我方招标负责人进行咨询。

八、九州ju111官方网站招投标办公室保留此招标文件的解释权。



第三部分 技术参数

微电子基础实验室参数指标

序号

实验项目

设备名称

数量

招标参数

1

四探针法测电阻率


  1. V法测硅外延层纵向杂质分布


晶体管电容-电压特性测量









数字源表


精密LCR表


测试软件


探针台












2

仪器主要技术参数：

源表：

  1. ★具备I-V测试分析功能

  2. 5英寸高分辨率电容触摸屏图形用户界面（GUI）

  3. 基本测量准确度0.012%，分辨率6½数位

  4. ★最小量程20mV和10nA

  5. 宽带噪声：2mVrms（典型值）

  6. ★读数缓存>250,000

  7. 源和负载(4象限)操作

  8. 香蕉头及三同轴两种输入连接方式

  9. 前面板USB端口，用于数据存储/编程

  10. 程控接口GPIB, USB 2.0, LXI / 以太网

精密LCR表

  1. ★信号源频率范围不低于10Hz-1MHz

  2. 频率输出精度±0.01%

  3. 具备开路、短路偏差校正功能

  4. 可测试参数包括:Z、R、X、Y、G、B、CS、CP、LS、LP、D、Q、θ等

  5. ★配置远程控制及分析软件，让测试更简单

  6. ★配置精密LCR表外置偏压盒

测试软件

  1. 图形化GUI，结构简单易于操作提高测试效率

  2. ★内嵌I-V测试和C-V测试界面

  3. ★支持多种仪器设备用于半导体检定、可靠性测试、参数化测试、材料测试及元器件功能测试等

  4. 可以图片和Excel格式保存结果、可保存和调用设置

  5. 可根据需求升级配置

精密4吋手动探针台

  1. 载物台为不小于4吋的镀金Chuck，中心真空吸孔≤1mm，便于吸附小样品

  2. ★卡盘行程：X-Y方向线性移动行程＞100mm*100mm，最小移动距离≤1um；Z向升降行程≥10mm，可0-1快速升降，便于快速离针操作；θ角可0°-360°操作，千分尺微调。

  3. ★精密探针座，磁性吸附，线性移动精度≤1um，配置GGB精密探针

  4. 显微镜倍数范围不小于30X-100X

  5. 配备CCD 8寸显示器

  6. 配备三同轴低漏电缆和接头，直连源表

  7. 配无油静音真空泵

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

2

液晶电光效应实验

液晶光电效应实验仪







2

仪器主要技术参数：

  1. 采用高强度优质铝合金光学导轨，长800mm，标尺分辨率1mm；光具座滑块5只；

  2. 半导体激光器波长650nm红光，工作电压：3V，激光器三维可调；

  3. ★液晶方波电压 0－10V左右（有效值）连续可调，Vp-p=2~8V，频率500Hz左右，采用数字编码开关进行频率调节；

  4. ★光功率计（已安装在实验仪表内）：量程为0－20μW、0－200μW、0－2mW、0-20mW四档，三位半LCD显示；

  5. 起偏器和检偏器各1只；

  6. 专用光功率器探头，连接光缆调节装置；

  7. 两种液晶样品，用框架型结构固定液晶样品，牢固美观，采用接线柱方式给样品通电，方便安全。

3

PTC电阻阻温特性测量

PTCR的RT特性测试系统










2

仪器主要技术参数：

主要配件

1智能万用表

2.温控箱（含进口智能温控表）：

3.恒温箱（含10工位夹具）

4.测控软件（含维护）一套

5.配专用电脑

可以测试PTC，NTC，PPTC参数

主要技术参数

1.★温度范围：室温~350℃

2. 常用温度范围：室温~300℃

3.控温精度：±2℃

4.电阻范围：0. 1Ω~100MΩ

5.★工位数：10只

6.★电阻测量方式：采用四线法

主要计算参数：

1.R25, Rmin, Tmin, Rmax, Rmax/Rmin, Tmax, Tc, α

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书


4




变温霍尔效应实验


半导体材料导电类型测量

变温霍尔效应实验仪













2

仪器主要技术参数：

1.电阻率测试范围（Ω·m）: 2x10-7 – 3x105（以1cmx1cmx1cm样品为例）

2.载流子浓度范围（cm-3）: 1011 – 10 21

3.测试材料体系: 各类本征半导体，宽禁带半导体及温度相变半导体

设备样品台

1.霍尔电压：0-3.3V

2.霍尔电流：100nA–200mA

软件面板信息：

1.磁场：(电磁铁)-4000Gs - +4000Gs

2.温度范围：100K–300K

3.磁场精度：1高斯

4.温度显示精度：1K

★5.能够测量其他自制硅片的霍尔测试；提供2种不同参数霍尔片，用户可自行更换试样，试样大小不超过1cm x 1cm

6.恒温器液氮容量：1000mL，静止液氮保存时间：大于5小时

★7.数据处理：高分辨彩色液晶实时显示 Hall Voltage vs Field 及 Hall Voltage vs Temperature

8.测试半导体材料导电类型

9.不含电脑

5

介电常数及介电损耗测试实验

介电常数测试仪







2

主要技术参数分别如下：

1.Q值测量范围：2～1023；高频信源采用直接数字合成，DDS信号模拟输出

★2.Q值量程分档：30、100、300、1000、自动换挡或手动换挡：更增加自动锁定功能

3.电感测量范围：14.5nH～8.14H 自身残余电感和测试引线电感的自动扣除功能；

4.电容直接测量范围：1～460pF；电容缺失自动补充确保被测准确性

5.主电容调节范围： 30～500pF；

6.电容准确度 150pF以下±1.5pF；150pF以上±1%；

★7.信号源频率覆盖范围20KHz-60MHz或200KHz-160MHz；独有频率自动对向搜索干扰抑制技术确保频率不被外界干扰

8.型号频率指示误差：1×10-6 ±0.1；

9.Q值合格指示预置功能范围：5～1000、Q表工作环境温度：0℃～+40℃相对湿度：<80％电源：220V±22V，50Hz±2.5Hz；

10.平板电容器极片尺寸：φ25.4mm\φ38\φ50mm；

★11.极片间距可调范围和分辨率：≥10mm，±0.001mm；数显电极免除人工刻度读数的误差

12.圆筒电容器电容量线性：0.33pF / mm±0.05 pF.

13.长度可调范围和分辨率：≥0～20mm，±0.01mm；

14.夹具插头间距：25mm±0.01mm；

15.夹角损耗角正切值：≤4×10－4（1MHz时）；

16.消耗功率：约25W；

17.外型尺寸：（l×b×h）mm：不大于380×132×280；

18.产品配置：测试主机一台、电感一套、夹具一 套、说明书一份、合格证一份、保修卡一份、电源供电一条

6

晶体管直流特性测试实验

晶体管特性图示仪







2

1.本仪器具有二簇曲线显示，双向集电极扫描功能，可以对被测半导体器件的特性进行对比分析，便于晶体管的配对。设有5kV高压装置。本仪器适用于各种半导体三极管、二极管、场效应管、可控硅、稳压二极管、及三端稳压器等器件的测试。
★2.Ｙ轴偏转因数：集电极电流范围（IC）0.5μA/div—1A/div（分２０档） 
（IR）50nA/div—1μA/div（分５档）
基极电流或基极源电压0.01V/div
外接输入0.01V/div
3.Ｘ轴偏转因数：
集电极电压范围（VC）10mV/div—50V/div（ 分12档）
(VD) 500V/div
基极电流或基极源电压0.01V/div
外接输入0.01V/div 
★4.阶梯信号
阶梯电流范围：0.5μA/级--100mA/级（分17档）
阶梯电压范围：0.05V/级—1V/级(分5档)
串联电阻：O、10KΩ、1MΩ(分３档)
每簇级数：1—10级 连续可调。
每秒级数：200
极性：正、负、异（分三档）。 

7

单体太阳能电池测试实验

单体太阳能电池分选仪










2

设备主要技术指标

1.模拟光源

a、光谱范围符合IEC60904-9光谱辐照度分布要求AM1.5

b、光强100mW/cm2（调节范围70～120mW/cm2）

c、光强均匀度≦±3%

d、辐照不稳定度≦±2%

e、大功率脉冲氙灯使用寿命20万次

f、具有闪光次数记数功能（更换归零重置）

g、出光方式：由下而上

2.★测试范围

a、有效测试面积：200mm×200mm

b、有效测试范围：0.1W～5W

c、测量电压：0V～0.8V（分辨率1mV） 量程1/16384

d、测量电流：0m A～2A/20A（分辨率1mA） 量程1/16384

e、测量温度：15℃～35℃（分辨率0.1℃）

3.测试精度

a、测试重复精度：≦±1%

4.测量方式：四线测量

5.测试参数：Isc、Voc、Pmax、Vm、Im、FF、EFF、Temp 、Rs、 Rsh

6.测试间隔时间5秒/片

7.数据采集： 14位高速同步采集卡

8.测试条件校正：自校正装置（包括手动输入补偿参数、自动/手动温度补偿、光强自动补偿）

9.★温度测量

a、自动测试温度

b、温度补偿和显示

c、可对测试温度进行温度修正

10.测试结果

a、显示测试时间和图形化参数（I-V特性曲线）

b、测试结果具备折算到标准测试条件下的能力

c、测试结果语音报数和语音提示

11.测试报告

a、当前工作界面显示并可记录I-V特性曲线

b、可将所有组件的主要测试参数保存到硬盘的指定文件

c、指定的文件可以自主命名

12.数据汇总与打印

a、根据设定时间段或随时进行数据汇总

b、以Excel格式打印（包括I-V特性曲线累计输出）

13.专用软件

a、温度补偿系数输入

b、日期名称行列数输入

14.工作时间：设备可连续工作12小时以上

15.使用电源：单相220V / 60Hz / 2kW

16.设备外观尺寸：长600mm×宽750mm×高1720mm

17.测试主机（含电子负载）：一台

18.光源：一套

19.计算机：一台

20.14位同步高速A/D板卡：一块

21. 专用测量软件：一套

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

8

铁电材料参数测试实验

铁电材料参数测试仪








2

主要技术性能指标：

1. 能够输出正弦波、三角波、间歇三角波、梯形波、正极性脉冲、负极性脉冲及双极性双脉冲等七种波形。

2.★可测量铁电薄膜的电滞回线、I－V特性和开关特性，可测量铁电体材料的电滞回线和I－V特性。

3.★测量铁电薄膜电压范围：

a.正弦波、三角波、间歇三角波和梯形波0～70Vp-p（峰峰值电压），频率在0.1Hz～10KHz范围内连续可调。

b.正极性脉冲和负极性脉冲幅度分别在15±1V范围内，双极性双脉冲的正向幅度和负向幅度分别在8±1V范围内。

4. 测量铁电体材料电压范围：正弦波、三角波、间歇三角波和梯形波0～4000Vp-p，频率在50Hz－100Hz范围内连续可调。

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

9

集成远算放大器参数测试

集成运放测试仪











2

  1. 运算放大器主要测试参数：
    输入失调电压Vio
    输入偏置电流IB+  IB-
    输入失调电流Iio
    开环电压增益Avd
    共模抑制比Kcmr
    共模输入电压范围Vicm
    电源电压抑制比+Ksvr  -Ksvr
    输出电压摆幅VO+  VO-

  2. 电压比较器主要测试参数：
    输入失调电压Vio
    输入偏置电流IB+  IB-
    输入失调电流Iio
    开环电压增益Avd
    共模抑制比Kcmr
    共模输入电压范围Vicm
    输出低电平电压 VOL 
    电源电流IS+  IS-
    增益带宽乘积GBW

  3. 主要技术指标
    1    、数字电压表
    测量范围、分辨力及准确度
    ±    （0~0.3）V、9.16uV、±(0.05%Rdg+0.1%fs)
    ±    （0.3~3）V、91.6uV、±(0.05%Rdg+0.1%fs)
    ±    （3~30）V、916uV、±(0.05%Rdg+0.1%fs)
    2    、程控电源
    加压： 电压范围、分辨力及准确度
    PPS 0~30V    、7.32mV、±(0.25%Set+0.05%fs)
    NPS 0~-30V    、7.32mV、±(0.25%Set+0.05%fs)
    测流：电流范围、分辨力及准确度
    PPS 0uA~1mA    、30.5nA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    1mA~10mA    、305nA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    10mA~100mA    、3.05uA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    NPS -(0uA~1mA)    、30.5nA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    -(1mA~10mA)    、305nA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    -(10mA~100mA)    、3.05uA、±(0.25%Rdg+0.1%fs)
    3    、恒压源
    加压： 电压范围 分辨力 准确度
    VF 0~±10V    、4.88mV、±(0.25%Set+0.05%fs)
    4    、10KHZ正弦波发生器
    频  率：10KHZ±1HZ
    幅  度：有效值 5V，准确度 1% 。
    失真度 < 2%

10


可编程线性直流电源

2

  1. 3.5英寸的TFT显示屏，可同时显示多个参数和状态 

  2. ★快速的瞬态响应时间：<50μs

  3. 三路输出，30V/3A || 30V/3A, 5V/3A，最大总功率达195W

  4. ★低纹波噪声：<350uVrms

  5. ★出色的负载和电源调节率：<0.01% + 2 mV；<0.01% + 250uA

  6. 编程分辨率：10 mV/1 mA

  7. 编程准确度：0.05% + 20 mV；0.2% + 5 mA

  8. 具有定时输出功能，支持无限及指定循环次数的输出 

  9. 具有跟踪功能，支持通道电压设置值和输出开关状态跟踪 

  10. 内置在线分析器，可在线分析多种统计参数 

  11. 支持串、并联输出功能  

  12. 丰富的接口：USB Host&Device（标配），LAN/RS232/ 数字IO（选配），GPIB（选配）

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

11


200M数字示波器

2

  1. 模拟通道带宽200 MHz

  2. 2通道数字示波器 

  3. ★模拟通道实时采样率2 GSa/s，标配14 Mpts存储深度，最高56 Mpts（选配） 

  4. 52,000 wfms/s（点显示）的波形捕获率

  5. ★硬件实时的波形录制、回放、分析功能，可录制多达65000帧，支持数字通道录制及回放 

  6. 256级波形灰度显示  

  7. ★低底噪声，500 μV/div至10 V/div的超宽垂直动态范围

  8. 丰富的触发功能 

  9. 多种解码功能 

  10. 丰富接口：USB Host，USB Device，LAN（LXI），AUX，USB-GPIB（可选） 选）

  11. 29种波形参数自动测量（带统计功能） 

  12. 精细的延迟扫描功能 

  13. 内嵌FFT功能 

  14. 通过/失败检测功能 

  15. 波形数学运算功能 

  16. 支持远程命令控制

  17. 8.0寸WVGA（800*480）160,000色TFTLCD，超宽屏、色彩逼真，功耗低，寿命长

  18. 波形亮度可调 

  19. 波形显示可以自动设置（AUTO）

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

12


DDS数字信号源

2

  1. ★标配等性能双通道

  2. 最高频率输出不小于25MHz

  3. ★逐点生成任意波形，采样率精确可调，所有输出波形（包括：方波、脉冲等）抖动低至200ps；

  4. 每通道任意波存储深度标配2Mpts，选配16Mpts；

  5. ★内置8次谐波发生器，可按奇次，偶次，顺序，自定义方式输出；

  6. 扫频功能，支持线性/对数/步进方式，可设置起始/终止/返回时间和标记频率；

  7. ★内置7 Digits，200MHz带宽频率计，可测量频率、周期、占空比、正脉宽和负脉宽，统计结果以“数字”和“动态曲线”来显示；

  8. ★采样率200MSa/s，垂直分辨率：14bits；

  9. 输出特性(50欧)：1mVpp 至10Vpp；

  10. ★主机具有方便的任意波形编辑界面（支持点编辑/块编辑/插入波形），也可通过上位机软件生成任意波形；

  11. 调制功能：AM、FM、PM、ASK、FSK、PSK和PWM（选配）；

  12. 配备波形叠加功能，可以在基本波形的基础上叠加指定波形后输出；

  13. 配备通道跟踪功能，跟踪打开时，双通道所有参数均可同时根据用户的配置更新；

  14. 配备通道耦合功能，支持频率/幅度/相位耦合；

  15. 通道输出模式，支持常规和门控；

  16. 屏幕图像保存功能，可以将当前屏幕显示的内容以图片格式（*.bmp）保存到U盘；

  17. 接口：USB Host，USB Device(TMC)、LAN(LXI)；

  18. ★3.5英寸（320x240）TFT 彩色显示屏，可显示单通道或双通道输出参数

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书

13


台式万用表

2

  1. ★读数分辨率：6位半，最大读数为：+/- 2200000；

  2. 基本直流精度：0.0035 %；

  3. ★测量功能：直流电压,交流电压,直流电流,交流电流,二线电阻,四线电阻,二极管,通断测试,频率和周期,电容,任意传感器（支持DCV，DCI，Freq，2WR，4WR和热电偶TC共6种传感器类型）；

  4. 测量速率：DCV最快速率 10000读数/秒；

  5. ★数学运算功能：最大值,最小值,平均值,通过/失败(VMC输出),dBm,dB,相对测量,直方图,标准偏差；

  6. 支持接口：USB和RS-232远程控制，支持USB-TMC 488.2标准和SCPI语言；

  7. 可以记录和保存历史测量结果；

  8. 内置10组设置存储,可远程配置系统并保存或调用；

  9. U盘不限量存储CSV格式测量数据，单个文件最大支持512K个历史数据；

  10. 上位机软件：标配PC端控制软件和任意传感器编辑软件

★投标商需提供原厂授权及售后服务承诺书



14


手持万用表

2

  1. 直流电压量程1000V，精度0.2%，交流电压量程750V，精度0.5%

  2. 交直流电流量程：600μA~10A，精度0.1%

  3. ★NCV（非接触验电）功能

  4. 可以测量的其他电气参数：频率、占空比、电阻、导通性、二极管、电容、温度

  5. V Low Z：低阻抗输入模式减少虚假电压错误

  6. 磁性背吸

  7. 蓝色背光灯，6000字，带支架

  8. 自动量程

  9. 防水，-20~50℃使用环境，2米防跌落

  10. 熔断器保护，双保险丝保护

  11. 手电筒

  12. ★可选配柔性电流钳测量微小电流或者大电流

其它要求

1、完成时间（交货期）：签订合同后60日历天内完成供货及安装调试；

2、交货地点: 招标人指定的交货地点（九州ju111官方网站）。

3、★质 保 期：验收合格后至少2年。制造商提供质保期大于3年的，依其规定；终身维护。

4、报价要求：所供设备为交钥匙工程，投标报价包括送货、安装、调试、培训等费用，报价单位为：人民币。

5、★售后服务：具备完善的技术支持和售后服务能力，在货物使用地对授课教师、实验人员提供免费的技术培训；。

6、招标文件要求承诺后须严格保证，如投标承诺与实际不符，则投标方及制造厂家须承担因此造成的买方的所有损失，买方有权要求投标方及制造厂家给予双倍赔偿。

7、★服务响应时间承诺：接到设备故障报告后2小时内响应，2个工作日内解决。在质量保证期内，由于卖方的原因而出现故障，卖方应在4小时内对用户的服务要求做出响应，一般问题应在24小时或其它无法迅速解决的问题应在48小时解决或提出明确的解决方案，其费用由卖方负担。

8、★供应商（制造厂家）有义务为用户提供所有设备终身维修。质量保证期后，维修、更换配件等只收成本费。

9、投标人业绩说明:投标人近年从事类似教学实训实验设备业绩，100万以上不少于三份。（现场以提供的加盖公章的合同复印件为准，原件备查。）

10、★公司经营（盈利）状况，提供2015年至2017年三年审计报告（总资产，净资产，净利润，营业额）。